FSLA –流量支撑激光烧蚀

对产生直孔,圆孔或低切几何尺寸而言,3D-Micromac开发出所谓的“FSLA™(流量支撑激光烧蚀)工艺。该烧蚀法(专利申请中)指采用超短脉冲激光,来处理背面的基质。此外,介质沿着基质背面流过。该流体恰好适合于烧蚀工艺,并带走了烧蚀工艺中的副产品,这帮助防止基质中的热积累。

FSLA™适合于各种钢化玻璃或非钢化玻璃及蓝宝石玻璃的加工。可以对厚度在50 µm和50 mm的材料进行加工。烧蚀速度可以达到10 mm³/分钟。最大可达到的纵横比为ca. 1:15,这取决于要求的孔的直径。

采用FSLA™法,可以对传统玻璃和钢化玻璃及蓝宝石玻璃进行加工。可以避免孔形成锥形,这对激光加工而言是典型情况。可以获得一个完美的复杂几个尺寸。

由于加工中,其损伤小,所以不会产生碎屑。材料内不会出现附加应力。完成的边缘或钻孔粗糙度大于为Ra

FSLA™技术为下一代喷头或表面改良提供了一个全新的可能性。然而,FSLA™允许制造的复杂的成分用于微流体应用,运动部件用于微传动或模具中。在显示处理技术中,钢化玻璃及蓝宝石玻璃内的成分或层间连接的开口的质量和形状精度可能会达到最高水平。采用激光钻孔工艺形成的边缘的质量无可挑剔,不会产生碎屑,对弯曲强度没有实际的不利影响。