激光晰磨

激光技术特别适合用于晶硅太阳能电池的微结构中。该技术的生产能力高,纳入生产线中可靠。相对于诸如掩蔽法或电子束法等其他方法,该技术具有经济效益,且生产能力高。其他优点还包括非接触式能量耦合、柔性光束制导、精度高,以及定位快和能量横向进给控制精确等。避免材料出现损伤。

与扫描系统结合使用的不同的激光源范围从纳秒激光到超短脉冲激光不等,这取决于客户的质量、生产能力和投资成本要求。

纳秒激光主要在生产能力和成本效率方面获得优势。然而,与超短脉冲激光相比,由于脉冲的持续时间,较多的热量传入材料中。

脉冲持续时间在皮秒和飞秒(10-13 秒至10-15 秒)的超短激光脉冲的激光烧蚀通常被称为“冷烧蚀”。然而,这仅适用于低于十飞秒的脉冲持续时间。如果脉冲持续时间比该时间间隔长,则在基质中会发生电子-光子交互作用和相关的导热反应。原则上讲,这致使材料宽度的脉冲持续时间内限定在不到100 nm的皮秒范围内。超短脉冲激光的优势在于在一个非常短的时间间隔内,能够将激光的所有能量传递到材料上,因而实现了超高功率密度(每cm²达到几千兆瓦)。这使激光辐射有很好的吸收能力,能更精确地处理相关“无热”现象。该结果从质量上讲,具有高价值结构,几乎不会对周围材料造成热量影响或材料污染。

超短脉冲激光,作为纳秒激光,能被可靠地纳入生产工序中。然而,与后者相比,前者在获得和维护方面,明显花费的成本更高。