microPREP™


基于高通量激光的微诊断样品制备

全新的 microPREP™ 是第一款支持高速、清洁和高效激光消融的仪器,用于为微结构诊断和故障分析制备样品。
microPREP™ 通过超短脉冲激光,特别是低结构化损伤、高功率密度和微米级的目标精度,提供显微机械加工的关键优势。
因此,microPREP™ 是最新的半导体、金属、陶瓷及复合物激光切割和局部激光减薄技术。

microPREP™ 的特性

microPREP™ 适用于

• 更短的取样时间:比 FIB 快10 000 倍
• 根据分析采用样品几何形状
• 最大限度地减少样品丢失风险
• 配方驱动型样品几何形状和材料 GUI
• 降低 FIB 容量要求
• 增强现有 (TEM) 分析工具的效率
• 根据要求提供定制配方和夹具


• 快速制备金属和半导体、陶瓷和复合材料样品
• ±0.003 mm 的高精度靶材制备
• 标记样品跟踪和追踪(DMC、二维码、纯文本等)
• 提高 FIB 和宽离子束工具的工作流程吞吐量
• TEM、X-SEM、XRM、APT 和微机械测试

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Jan Klinger
销售和产品管理负责人

Das Team Sales & Product Management