microPRO™ RTP


用于加工磁性传感器的可选择型激光退火系统

microPRO RTP 系统将目前最先进的激光光学模块与3D-Micormac 公司的高度模块化半导体平台相结合。该精密系统为客户提供了高重复精度和高产量的可选择型退火工艺。该系统采用可选择型步进重复点(step-and-repeat)的方式加工磁性传感器。与现有的退火方法相比,microPROTM RTP 具有诸多优点,包括:


• X 轴和 Y 轴方向都具有高精度
• 针对不同类型的传感器提供更优质选择
• 为脉冲能量和曝光区域的大小形状提供多种选择
• 可自由编程,设定磁场强度和磁场方向
• 能量均匀性高
• 集中监测生产过程

microPRO™ RTP – 系统配置

microPRO RTP 标准系统的配置包括:
• 激光模块
• 对齐系统
• 集成过程监控器
• 加热卡盘
• 磁铁装置


可用选项:
• 全自动盒式晶圆处理器 (开口式, 正面开口标准箱“FOUP”)
• 晶圆预对准器
• 晶圆/盒式磁带用 ID 读取器
• SECS/GEM 接口
• 过滤风扇装置

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Jan Klinger
销售负责人

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