激光样品制备

对适应于快速、可靠、成本有效、无伪影和有针对性的多种微观结构诊断方法的制备技术的需求不断增加。
除了传统的机械制备外,聚焦离子束微加工目前在该领域占据主导地位。虽然前者的技术人员成本很高,但后者的特点是拥有成本非常高。

用激光进行制备则成为非常有价值的替代方法。microPREP™ 所采用的专利技术,可以以几乎完全自动化的方式为TEM、X-SEM、APT和微机械测试制备样品。该工艺采用坚固的脉冲激光源,其特点是运行成本极低,可加工半导体、金属、陶瓷及其复合物,并且可以实现微米级的超高加工精度。

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Boris Rottwinkel
sales@3d-micromac.com

样品制备工作流程