3D-Micromac——卓越的微加工专家

我们主张：确立激光微加工领域的全球标准

3D-Micromac AG 是激光微加工行业的领导者。我们的专家团队以最高的技术和工艺水平，开发工艺流程、机械和全套设备。3D-Micromac 的系统设备已成功应用于全球众多高科技行业，包括光伏、半导体、玻璃和显示器、微诊断和医疗技术等。我们的目标是：即使在最复杂的项目中，也要完全满足客户的需求。

3D-Micromac 遵循强大且面向未来的加工流程，具有最高的生产效率。我们的技术已为真正的创新确立了国际标准。由于我们非常重视不断扩展专业知识，所以我们不懈努力，以求紧跟最新研究成果。每天，我们都会将最新的成果与客户需求结合起来，将其付诸于实践。

3D-Micromac 公司大事记

3D-Micromac AG 于2002年由创始人Tino Petsch成立于开姆尼茨，当时的公司只有6名员工。时至今日，公司的员工人数已超过190人。

在战略部署上，3D-Micromac尤其重视国际市场和高增长、高科技市场的开发。我们是世界上首批将超短脉冲激光应用于材料加工工艺的公司之一。我们也专攻将准分子激光用于微加工系统的研究。3D-Micromac AG生产的100多个准分子激光系统目前已投入工业应用中。

我们公司成立至今，发生的一系列重大事件包括：

2017: 新公司总部大楼落成
2016: 三维麦蔻麦克激光技术(无锡)有限公司成立
2015: 荣获“PV Tool”类别中的“Solar Industry Award(太阳能产业大奖)”
2014: 在美国成立子公司3D-Micromac America, LLC；成功掌握热激光分离技术（TLS-Dicing™）；成功推出激光接触式开槽生产系统
2013: 进行了以增长型工业市场为重点的战略调整
2012: 公司创立者Tino Petsch 被评为萨克森州“年度企业家”；microFLEX Center 公司大楼落成典礼
2011: 荣获“SPIE 绿色光子学奖”和台湾“Laser Application Excellence Award（激光应用精品奖）”
2010: 成功推出通过准分子激光器加工喷嘴的生产系统
2009: 位于开姆尼茨科技园区的总公司落成
2007: 荣获萨克森州“创新奖”
2004: 开发了工业用准分子激光标记眼科镜片系统
2003: 推出了全球首款采用超短脉冲激光加工的商用激光系统
2002: 成立 3D-Micromac AG

经过十几年的发展，3D-Micromac 在众多激光微加工系统制造商中脱颖而出，占据有利地位。这为我们在国际市场上的蓬勃发展奠定了一个良好的基础

雕塑“梦想者”——“年度企业家”奖杯

科研项目

SAM³ SOLAR-TLS POLDI BIPVpod POSITION-II LAOLA

SAM³

超越摩尔（MtM）,系统级封装（SiP）以及三维高密度组装技术是实现紧凑型微电子器件设计的先决条件，而例如未来智慧城市的建设，就需要这些微电子器件。该项目的目标是探索和开发新的检测工具和先进的诊断方法，用于检测材料表征、缺陷定位、进行有效的样品制备、物理故障分析技术和工作流程，为欧洲核心应用提供以MtM，SiP和三维技术为基础的先进可靠的微型加工系统。欧洲四个主要半导体和加工系统供应商英飞凌、STMicroelectronics、博世和Thales 计划与来自德国和法国的11家设备及分析系统供应商进行合作。该项目获得了五个合作学术机构的支持。此次合作将促进参与项目的半导体和系统供应商设计更多创新型MtM和SiP产品，从可靠性、质量、成本和产品上市时间等方面全面提升参与项目企业的竞争力，以确保他们在全球范围内持续发挥领导作用。该项目还将支持多家欧洲分析设备提供商（其中多个为中小型企业）探索新的市场机会、设计新设备，并帮助其与新系统集成技术的未来需求同步发展

项目合作伙伴

德国联盟

英飞凌科技股份有限公司，德国
罗伯特·博世有限公司，罗伊特林根，德国
3D-Micromac AG (3DM)，开姆尼茨，德国
MUEGGE GmbH，赖歇尔斯海姆，德国
NanoWorld Services GmbH，埃朗根，德国
PVA TePla Analytical Systems GmbH，韦斯陶森，德国
point electronic GmbH, 萨勒河畔哈雷，德国
WITec GmbH，乌尔姆，德国
弗劳恩霍夫材料与系统微结构研究所，萨勒河畔哈雷，德国
罗伊特林根大学，罗伊特林根，德
SmarAct GmbH，奥尔登堡，德国

法国联盟

STMicroelectronics，格勒诺布尔、卢塞和图尔，法国
Thales Research and Technology，法国
Digit Concept，贝桑地区塞屈埃维尔，法国
Orsay Physics，菲沃，法
Tours University Greman，图尔，法
法国国家科学研究院-DR12(LP3)，马赛，法国

该项目已获批联邦教育和研究部资助，资助协议号[16ES034]。

批准期限：
2015年10月1日至2018年12月31日

SOLAR-TLS

目前，光伏领域技术发展的一个重要方面是降低每个模块的输出成本。这可以通过增加“电池到组件”(CTM)关键性能指标来实现，如：减少从单个太阳能电池到成品光伏组件的损耗。而在太阳能电池集成到组件之前切割电池板则能够减少损耗。此外，切割太阳能电池技术对生产特殊型太阳能组件的国有企业来说尤为重要。

“SOLAR-TLS”项目的目标是，开发以“热激光分离”（TLS）技术为基础的太阳能电池切割工业生产工艺。其主要目标是切割太阳能电池，且不在切割边缘造成损伤。被切割电池的电力与机械性质则是该研究的焦点。理想状态下，这些属性应该在电池被切割后保持不变。TLS 切割技术可以在不削减材料的情况下平滑地进行切割，并保留电池属性不变，因此非常具有发展前景。太阳能组件的使用寿命也能因此得以延长。

项目合作伙伴

3D-Micromac AG (3DM)，开姆尼茨，德
Hörmann ITS Cell GmbH，卡贝尔斯克塔尔，德国
哈勒弗劳恩霍夫硅光伏研究所，哈勒，德国
安哈尔特应用技术大学，科腾，德国

该项目已获批联邦经济事务与能源部资助，资助协议号[0325893A]。

批准期限：
2016年5月1日至2018年10月31日

POLDI

POLDI_plus项目旨在开发具有低电荷载流子复合的高效发射体的生产工艺。

3D-Micromac将在此项目中做出重要贡献，包括：设备和流程开发、将生产流程融入到钝化发射极背面接触电池（PERC）工艺以及成本计算。

我们将持续研发大幅度提高产量的设备。我们将根据新的高效激光加工技术要求对所有组件做出调整。在项目结束时，应达到每小时/5000个晶圆的吞吐量。首先，这些研发均面向前沿科技。要开发以精密设备概念为基础的精确局部激光掺杂加工方法，以及以成本有效的红外激光源为基础的加工工艺。在项目结束时，设备应允许选择性发射极与印刷电极对准，精度为±10μm。

项目合作伙伴

弗劳恩霍夫太阳能系统研究所（ISE），弗莱堡，德国
Centrotherm photovoltaics AG，布劳博伊伦，德国
3D-Micromac AG (3DM)，开姆尼茨，德国
Amphos GmbH，黑尔措根拉特，德国

该项目已获批联邦经济事务与能源部资助，资助协议号[0324079C]。

批准期限：
2016年9月1日至2019年8月31日

BIPVpod

该项目的成果应为一套加工方法，该方法可以生产客户定制的“按需定制面板”，即可以指定PV面板尺寸和颜色，适用于小批量生产，附加成本低。“按需定制面板”技术将在构建元件中进行开发、制作原型并进行现场测试。这为 BIPV 开辟了各种各样的可能性和新的应用市场。为了研究该技术的潜力，项目将开发三种不同的BIPV应用程序用于“按需面板”：外墙系统、新建房屋的屋顶系统和房屋翻新的屋顶系统。

项目合作伙伴

德国联盟

项目协调：NEXT ENERGY EWE-Forschungszentrum für Energietechnologie e.V.公司
项目合作伙伴：
- 3D-Micromac AG，开姆尼茨
- 于利希研究中心

荷兰联盟

Aerspire (AER) SEMCOglas Holding (SEM)
Wallvision (WV) Zonnepanelen Parkstad (ZP) 荷兰能源研究中心(ECN)
荷兰应用自然科学研究组织（TNO）

授予协议号：0324130C

批准期限：
2017年6月1日至2020年5月31日

POSITION-II – 新一代智能导管和植入物的试验线

POSITION-II项目的目标是：通过构建开放式技术平台，实现智能导管和植入物的技术创新，包括：小型化、导管尖端AD转换、无线通信、MEMS 换能器技术和封装。该平台对各种用户和各种应用程序开放。

在POSITION-II项目的框架下，3D-Micromac将为智能导管和植入物的微小部件提供精确的激光微加工技术。

项目合作伙伴

项目协调：PHILIPS ELECTRONICS NEDERLAND B.V. (PEN)，荷
PHILIPS MEDICAL SYSTEMS NEDERLAND BV (PMS), 荷兰
代尔夫特理工大学（TUD），荷兰
SALVIA BIOELECTRONICS BV (SAL)，荷兰
埃因霍温理工大学（TU/e），荷
REDEN B.V. (RED)，荷兰
Catena Holding BV (CAT-NL)，荷兰
法国原子能和替代能源委员会（CEA），法
VERMON SA (VER)，法国
PHILIPS FRANCE COMMERCIAL (PRP)，法国
MURATA INTEGRATED PASSIVE SOLUTIONS (MUR)，法国

OKMETIC OY (OKM)，芬兰
芬兰国家技术研究中心（VTT），芬兰
TIKITIN OY (TIKITIN)，芬兰
阿尔托大学基金会（AALTO），芬
弗劳恩霍夫应用研究促进协会（Fraunhofer），德国
OSYPKA AG (OSY)，德国
FINETECH GMBH & CO KG (FINE)，德
AMIC ANGEWANDTE MICRO-MESSTECHNIK GMBH (AMIC)，德国
INSTITUT FUER MIKROELEKTRONIK STUTTGART (IMS)，德
JOHNSON MATTHEY PIEZO PRODUCTS GMBH (JMPP)，德国
CATENA GERMANY GMBH (CAT-DE)，德国

3D-Micromac AG (3DM)，德国
CORTEC GMBH (CTC)，德国
Dyconex AG (DYC)，瑞士
科克大学（TYN），爱尔
ANALOG DEVICES INTERNATIONAL UNLIMITED COMPANY (ADI)，爱尔兰
BRIVANT LIMITED (BLT)，爱
CREGANNA UNLIMITED COMPANY (CGM)，爱尔兰
赛莱克斯微机电系统科技公司（SIL），瑞
INSTITUTO DE TELECOMUNICACOES (ITAV)，葡萄牙
PDM E FC PROJECTO DESENVOLVIMENTO MANUTENCAO FORMACAO E CONSULTADORIALDA (PDM)，公司
INESC ID – INSTITUTO DE ENGENHARIADE SISTEMAS E COMPUTADORES, INVESTIGACAO E DESENVOLVIMENTO EM LISBOA (INESC)，葡萄牙

BRIO APPS ALPHASIP S.L.(ASIP)，西班牙
CONSORCIO CENTRO DE INVESTIGACION BIOMEDICA EN RED M.P.(CIBER)，西班牙
CIKAUTXO S COOP (CIKAUTXO)，西班牙
FUNDACION CENTRO DE CIRUGIA DE MINIMA INVASION JESUS USON (CCMIJU)，西班牙
萨拉戈萨大学（UNIZAR），西班牙
马德里康普顿斯大学(UCM)，大学
比利时微电子研究中心（IMEC），比利时
MAGYAR TUDOMANYOS AKADEMIA ENERGIATUDOMANYI KUTATOKOZPONT (EK-MFA)，匈牙利
MAGYAR TUDOMANYOS AKADEMIA TERMESZETTUDOMANYI KUTATOKOZPONT (MTATK)，匈牙利
罗马第三大学（USRT），意大利
FONDAZIONE BRUNO KESSLER (FBK)，意大利

Position-II项目已获批欧盟“地平线2020”科研创新计划（ECSEL JU）资助，资助协议号为[783132]。

批准期限：
2018年6月1日至2020年5月31日

LAOLA

该项目旨在利用柔性基板上的有机发光二极管（OLED）开发大型照明应用。该项目的一个重点是薄玻璃，由于其出色的阻隔性能，它比塑料作为基材具有优势。在卷对卷生产过程中，薄玻璃基板的卷绕过程必须首先集成到镀膜装置中。项目将做出进一步挑战，开发用于衬底分离和互连的激光切割和结构化工艺。此外，该项目还将致力于为OLED提供高效保护涂层，以及为照明市场提供具有高附加值的透明电触点。作为该项目的结果，团队将开发演示程序，展现技术的力量。一些技术正在与来自日本米泽市的合作伙伴合作研究与开发。整个项目由 Organic Electronics Saxony (OES)公司协调。3D-Micromac AG是该项目中的重要合作伙伴，为项目提供薄玻璃层压板无裂缝分离技术。LAOLA 项目网址

项目合作伙伴

赞助合作伙伴：

弗劳恩霍夫研究所电子射线和等离子技术研究所（FEP）
FHR Anlagenbau GmbH
CREAVAC-Creative Vakuumbeschichtung GmbH
WOLFRAM Design/Engineering
Heliatek GmbH
Organic Electronics Saxony Management GmbH

合作伙伴：

3D-Micromac AG
CreaPhys GmbH
德莎公司

认证

自2003年以来通过ISO认证

在过去的16年中，3D-Micromac AG这个名称一直代表着最高的品质和高客户满意度。我们非常自豪，自20003年起，公司就通过了ISO9001质量标准认证。

该认证涵盖了我们的机器、设备和技术的整个开发流程、生产、销售和服务。

该认证不仅证明了我们成功的质量管理和高效的生产流程链，还证明了我们为不断改进所作出的努力。

通过不断优化所有内部业务流程，我们为公司的稳定发展和与客户及供应商的持久合作关系奠定了良好的基础

3D-Micromac——卓越的微加工专家

我们主张：确立激光微加工领域的全球标准

3D-Micromac 公司大事记

科研项目

SAM3

项目合作伙伴

德国联盟

法国联盟

SOLAR-TLS

项目合作伙伴

POLDI

项目合作伙伴

BIPVpod

项目合作伙伴

德国联盟

荷兰联盟

POSITION-II – 新一代智能导管和植入物的试验线

项目合作伙伴

LAOLA

项目合作伙伴

赞助合作伙伴：

合作伙伴：

认证

自2003年以来通过ISO认证

SAM³